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     440×420×75mm（400臺式、單室）

     520×520×75111111（500臺式、單室）

5、電機功率：1?5KW（500型雙室）、0，（400型雙室，單室）

6、熱封功率：0，9KW（500型雙室）、0．8KW（400型雙室、單室）
7、抽氣速率：11L/ s（500型雙室）、5·5L/ s（4000型雙室、單室）
8、外型尺寸；（長×寬×高）：
    520×480×410mm（400臺式）520×480×990mm（400單室）
    630×560×630mm（500臺式）630×560×1000mm（500單室）
    990×540×910mm（400雙室）1250×520×960mm（500雙室）
    1440×590×960mm（600雙室）
9、重量：400型臺式（60 k g）、400型單室（75 k g）、500型臺式（110kg）、500型單室（140kg）、400型雙室080kg）、500型雙室（215kg）。